X-RAY XDAL
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エコマーク

X-RAY XDAL

製品概要

蛍光X線膜厚測定器

用途 ・0.1µmからの薄膜分析
・電子部品産業・半導体産業における機能膜の測定
・多層膜の測定
・品質管理における自動測定
特徴 ・X線検出器に、半導体検出器(PIN)搭載のXDAL237、シリコン・ドリフト検出器(SDD)搭載のXDAL237SDDをラインナップ
・プログラム機能付き電動式XYステージ搭載
・ハウジングに細い開口部(Cスロット)があり、大きな板状のサンプルも測定可能
・4種類のコリメーターと3種類のプライマリフィルターを搭載しており汎用性の高い機種
メーカー名 株式会社フィッシャー・インストルメンツ
メーカーURL https://www.helmutfischer.jp/product/xdal/
使用方法他 製品カタログご参照ください。