FLUORO-X(フロロエックス) 投込シリーズチューブコイルタイプハイバリアチューブ(AH)（付帯装置・付帯機器）株式会社三工商会

FLUORO-X(フロロエックス) 投込シリーズチューブコイルタイプハイバリアチューブ(AH)

特長ある各種ふっ素ポリマーチューブをコイル状に加工した熱交換器

用途	●,半導体製造装置・洗浄装置の薬液冷却用途 ●,太陽電池製造装置・洗浄装置の薬液冷却用途 ●,液晶製造装置・洗浄装置の薬液冷却用途 ●,ケミカルプラントの薬液冷却用途

特徴	酸（塩酸・ふっ酸・硝酸等）及びアンモニアの耐透過性に優れたチューブです。内層のバリア層がプロセス液側からチューブ内側への透過・移行を抑えます。薬液冷却用途において熱媒体（冷水）のｐH変化などを低減し、配管やポンプなど装置への悪影響を抑制します。外層のプロセス液側（槽側）は高純度PFAです。
メーカー名	株式会社潤工社
メーカーURL	https://www.junkosha.com/jp/products/ACH-03
使用方法他	製品カタログご参照ください。

PRODUCTS

概要	ふっ素樹脂熱交換器
用途	酸洗槽,めっき槽などの加熱,冷却

概要	特長ある各種ふっ素ポリマーチューブをコイル状に加工した熱交換器
用途	●腐食性の強い薬液を使用する工程での水蒸気加熱 ●めっき関連（自動車・半導体・液晶・プリント基板等）薬液の水蒸気加熱 ●ケミカル関連の水蒸気加熱

概要	特長ある各種ふっ素ポリマーチューブをコイル状に加工した熱交換器
用途	●腐食性の強い薬液を使用する工程での加熱冷却用途 ●ケミカル関連の反応槽・蒸発缶・結晶缶への加熱冷却用途