エピタス LEC-18
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エコマーク

エピタス LEC-18

製品概要

純アルミニウムまたはアルミニウム合金パッド用

用途 ウェハー用
特徴 アルカリ性エッチング、アルミニウムのエッチング量を抑制。
メーカー名 上村工業株式会社
メーカーURL https://www.uyemura.co.jp/development/product/result?cat%5B%5D=98