ホーム商品検索表面処理薬品メルストリップ CU-3931
メルストリップ CU-3931
メルストリップ CU-3931
メルストリップ CU-3931
メルストリップ CU-3931
エコマーク

メルストリップ CU-3931

製品概要

半導体ウェハ銅スパッタ膜エッチング剤

用途 半導体ウェハ銅スパッタ膜エッチング剤
エコ対応品 ハロゲンフリー、ナトリウムフリー
特徴 半導体ウェハ上の銅スパッタ膜のエッチング剤です。
① 処理液は酸性で、銅エッチングに使用可能です。
② ハロゲンおよびナトリウムを含みません。
③ 浸漬処理した場合、標準作業条件において約750 nm/minのエッチング速度が得られます。
メーカー名 メルテックス株式会社
メーカーURL https://www.meltex.com/products_search/item_14

関連商品

PRODUCTS