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メルストリップ TI-3991
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エコマーク

メルストリップ TI-3991

製品概要

半導体ウェハ チタンスパッタ膜エッチング剤

用途 半導体ウェハ チタンスパッタ膜エッチング剤
エコ対応品 環境ホルモンフリー
特徴 半導体ウェハ上のチタンスパッタ膜のエッチング剤です。
① 過酸化水素別添のアルカリ性チタンエッチング剤です。
② 標準条件(浸漬エッチング) 25 ℃において約30 nm/min、40 ℃において約85 nm/minのエッチング速度が得られます。
③ 標準条件において、銅、アルミニウム、はんだおよび鉛フリーはんだを殆ど腐食せずに選択的なエッチングが可能です。
④ 環境に有害な物質を使用していません。
メーカー名 メルテックス株式会社
メーカーURL https://www.meltex.com/products_search/item_16

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