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| 特徴 | Fan-Outパッケージングプロセス用のチタンスパッタシード層エッチング剤です。 ① LtF E-53 は、過酸化水素別添のアルカリ性チタンエッチング剤です。 ② 標準条件(浸漬エッチング) 25℃において約 30 nm/min、40℃において約 85 nm/minのエッチング速度が 得られます。 ③ 標準条件において、銅、アルミニウム、はんだおよび鉛フリーはんだをほとんど腐食せずに 選択的なエッチングが可能です。 ④ 環境に有害な物質を使用していません。 ・チタンシード層を選択的にエッチングすることにより、銅表面へのアタックを抑制して平滑な回路形成が可能が可能です。 ・チタンシード層エッチング後の銅回路断面に銅回路のアンダーカットが生じません。 チタンスパッタシード層エッチング液 ●過酸化水素添加式チタンスパッタシード層エッチング液 ●浸漬・スプレーいずれのエッチング方式にも適応可 ●選択エッチング性に優れる |
|---|---|
| メーカー名 | メルテックス株式会社 |
| メーカーURL | https://www.meltex.com/products_search/item_21 |
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