| 特徴 | 半導体アルミニウム電極上への無電解UBM形成プロセスに使用するアルカリ洗浄剤です。 ①EAR該当原料を使用しておりません。 ②メルプレートE-7121およびメルプレートコンディショナー7230と組み合わせて使用することにより各種のアルミニウム電極上において平滑なめっき膜を得ることができます。 ③アルミニウム電極のダメージが少なく、薄い電極にも使用可能です。 アルミニウム電極への無電解めっきプロセス(UBMプロセス)クリーナー ●ウェハ上のアルミニウム電極用脱脂剤 ●様々なアルミ電極種に対応可能 |
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| メーカー名 | メルテックス株式会社 |
| メーカーURL | https://www.meltex.com/products_search/item_213 |
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