エピタス EPT-H
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エコマーク

エピタス EPT-H

製品概要

高電流密度対応銅ピラーめっき

用途 電解銅めっき-ウェハー用硫酸銅めっき添加剤
特徴 ピラー高さ均一性及びピラー表面のフラット性に優れている
メーカー名 上村工業株式会社
メーカーURL https://www.uyemura.co.jp/development/product/result?cat%5B%5D=138
使用方法他 アノード:不溶解性
電流密度範囲(A/dm^2):5-25