| 特徴 | アルカリ現像型ドライフィルムレジストの剥離剤です。 ①膜厚100 μm程度の高アスペクト比の厚膜ドライフィルムレジストを剥離可能です。 ②剥離片が微細化するためファインパターンにおけるドライフィルムレジストも剥離可能です。 ③浴成分の分析管理が可能です。 |
|---|---|
| メーカー名 | メルテックス株式会社 |
| メーカーURL | https://www.meltex.com/products_search/item_215 |
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| 特徴 | アルカリ現像型ドライフィルムレジストの剥離剤です。 ①膜厚100 μm程度の高アスペクト比の厚膜ドライフィルムレジストを剥離可能です。 ②剥離片が微細化するためファインパターンにおけるドライフィルムレジストも剥離可能です。 ③浴成分の分析管理が可能です。 |
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| メーカー名 | メルテックス株式会社 |
| メーカーURL | https://www.meltex.com/products_search/item_215 |
